| コード# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤3.0+L/200 ((um) |
| コード# | 527-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| 測定範囲 | 115*145*75mm |
|---|---|
| 正確さ | ±1.5μm |
| 容量 | 5kg |
| 繰り返し可能性 | ± 1.5μm |
| 最低単位 | 0.1μm |
| 測定範囲 | 215*145*75mm |
|---|---|
| 正確さ | ±1.5μm |
| 容量 | 5kg |
| 繰り返し可能性 | ± 1.5μm |
| 最低単位 | 0.1μm |
| 測定範囲 | φ100mm |
|---|---|
| 正確さ | ±1.5μm |
| 容量 | 5kg |
| 繰り返し可能性 | ± 1.5μm |
| 最低単位 | 0.1μm |
| コード# | 500〜30 |
|---|---|
| レンズ | 0.3X ダブルテレセントリックレンズ |
| 作動距離 | 110のmm |
| 広場 | Ø 30mm ((28x24) |
| 測定精度 | ±2um |
| コード# | 525-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (505*350) mm |
| ガラスの作業台 | (356*248) mm |
| X/Y軸移動量 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 521~320F |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (408*308) mm |
| ガラスの作業台 | (306*198) mm |
| X/Y軸移動 | (250*150) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 521〜320J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 525〜120H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動量 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
