| コード＃ | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| ワーキングステージ旅行 | 200x100mm |
| 焦点 | 90mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード＃ | 525-020P |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （310*220）mm |
| ガラスステージ | （179.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （150*100）mm |
| X/Y線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 525-020dp |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （310*220）mm |
| ガラスステージ | （179.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （150*100）mm |
| 線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 523-280K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (600*500) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 523-180M |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1500*1200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤3.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 521〜420J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード＃ | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| 再現性 | 2um |
| コード＃ | 522-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
