| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| コード# | 511〜410 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 200x100mm |
| 商品の次元 | 1003×617×1309mm |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 商品の次元 | 988×563×1157mm |
| コード# | 510~340 |
|---|---|
| LCDのスクリーン・サイズ | 115mm×85mm |
| LCD画面の解像度 | 640*480 |
| 表示軸線 | 3軸 (X,Y,Z/Q) |
| 線形スケール解像度 | 0.1m0.2um0.5mm,1mm,2mm,5mm |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
