| コード# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1200*1000) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| コード# | 523-180R |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (2600*1600)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤4.0+L/200 ((um) |
| コード# | 523-380J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード# | 521~320H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (608*470) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 823-170-2005 年 |
|---|---|
| 負荷システム | オートマティック |
| モーター化されたXYステージ | ミニステップモーター L:180*W:140mm |
| X-Y ステージ ストローク | 50x50mm |
| 最小ステップ | 0.625um |
| コード# | 520-020 |
|---|---|
| 作業台 | (245x180) mm |
| ガラスの作業台 | (130×130) mm |
| X/Y軸移動 | (100*100) mm |
| X/Y軸の解像度 | 解像度: 0.5um |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 525〜120H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動量 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 525-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (505*350) mm |
| ガラスの作業台 | (356*248) mm |
| X/Y軸移動量 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
