| コード# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| 次元（WxDxH） | (1337*840*1664) mm |
| 重さ | 600kg |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 520-020 |
|---|---|
| 作業台 | (245x180) mm |
| ガラスの作業台 | (130×130) mm |
| X/Y軸移動 | (100*100) mm |
| X/Y軸の解像度 | 解像度: 0.5um |
| コード# | 525〜120H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動量 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 525〜320H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動量 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 525-020D |
|---|---|
| グラニット製の作業台 | (310*220) mm |
| ガラスの作業台 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| Z軸 移動 | 100mm |
| コード# | 525-020D |
|---|---|
| グラニット製の作業台 | (310*220) mm |
| ガラスの作業台 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| Z軸 移動 | 100mm |
| コード# | 500〜80 |
|---|---|
| レンズ | 0.088X ダブルテレセントリックレンズ |
| 作動距離 | 120mm |
| 広場 | Ø116mm(94x76) |
| 測定精度 | ±4um |
| コード# | 523~220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
