| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 精度 | ≤3+L/200 （um） |
| コード# | 511〜410 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 200x100mm |
| 商品の次元 | 1003×617×1309mm |
| コード# | 511〜420 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 250×150mm |
| 商品の次元 | 1003×617×1309mm |
| コード# | 511〜420 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 250×150mm |
| 商品の次元 | 1003×617×1309mm |
| コード# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 522〜120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 522~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
