| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 525-020dp |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （310*220）mm |
| ガラスステージ | （179.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （150*100）mm |
| 線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| ワーキングステージ旅行 | 200x100mm |
| 焦点 | 90mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード＃ | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 製品寸法 | 988×563×1157mm |
| コード＃ | 511〜420 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 250×150mm |
| 製品寸法 | 1003×617×1309mm |
| コード＃ | 510~340 |
|---|---|
| LCDのスクリーン・サイズ | 115mm×85mm |
| LCD画面の解像度 | 640*480 |
| 表示軸線 | 3軸 (X,Y,Z/Q) |
| 線形スケール解像度 | 0.1m0.2um0.5mm,1mm,2mm,5mm |
| コード＃ | 511~340 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×358mm |
| ガラスステージサイズ | 148x256mm |
| ステージ移動範囲 | 200x100mm |
| 製品寸法 | 988×563×1157mm |
| コード＃ | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| ワーキングステージ旅行 | 300×150mm |
| 焦点 | 120mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード＃ | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| ワーキングステージ旅行 | 200x100mm |
| 焦点 | 90mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
