| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 精度 | ≤3+L/200 （um） |
| コード# | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 200x100mm |
| 集中する | 90mm |
| 精度 | ≤3+L/200 （um） |
| コード# | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 商品の次元 | 988×563×1157mm |
| コード# | 542〜310 |
|---|---|
| 作業 ステージ 旅行 | 355×125mm |
| X/Y軸線旅行 | 200×120mm |
| Z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+L/200um |
| コード# | 511〜420 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 250×150mm |
| 商品の次元 | 1003×617×1309mm |
