| コード# | 525~380K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*500) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1200*1000) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 500〜30 |
|---|---|
| レンズ | 0.3X ダブルテレセントリックレンズ |
| 作動距離 | 110のmm |
| 広場 | Ø 30mm ((28x24) |
| 測定精度 | ±2um |
| コード# | オートビッキー ZHV-WH0503 |
|---|---|
| 目標 | 10×、40× |
| データ入力 | オートマティック |
| 塔 | オートマティック |
| 最大。試験片の高さ | 170mm |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 511〜420 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 250×150mm |
| 商品の次元 | 1003×617×1309mm |
| コード# | 823-170-2005 年 |
|---|---|
| 負荷システム | オートマティック |
| モーター化されたXYステージ | ミニステップモーター L:180*W:140mm |
| X-Y ステージ ストローク | 50x50mm |
| 最小ステップ | 0.625um |
