| コード# | 521〜320J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 500〜80 |
|---|---|
| レンズ | 0.088X ダブルテレセントリックレンズ |
| 作動距離 | 120mm |
| 広場 | Ø116mm(94x76) |
| 測定精度 | ±4um |
| 3D マックス 速度 | 520mm/s |
|---|---|
| 3D マックス 加速 | 1730mm/s |
| 移動距離 (mm) | 600*900*600 |
| 尺寸 (mm) | 991*1488*2610 |
| 測定された作業部品の最大重量 | 300キロ |
| コード# | 542〜310 |
|---|---|
| 作業 ステージ 旅行 | 355×125mm |
| X/Y軸線旅行 | 200×120mm |
| Z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+L/200um |
| コード# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 521~320H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (608*470) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 522〜420G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (600*500) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード# | 525~380K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*500) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1200*1000) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
