| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 525~380K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*500) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| 再現性 | 2um |
| コード＃ | 529-120J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| XY軸の精度 | ≤3.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 529-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| XY軸の精度 | ≤3.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 529-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| コード＃ | 525-020EP |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （390*220）mm |
| ガラスステージ | （229.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （200*100）mm |
| 線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 511〜420 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 250×150mm |
| 製品寸法 | 1003×617×1309mm |
