| コード＃ | 523-180M |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1000*800) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 523-280H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 521-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (458*358) mm |
| ガラスの作業台 | （356*248）mm |
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 521~320F |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (408*308) mm |
| ガラスの作業台 | (306*198) mm |
| X/Y軸移動 | (250*150) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 521〜420E |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (270*350) mm |
| ガラスの作業台 | (142*242) mm |
| X/Y軸移動 | （200*100）mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 522~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード＃ | 522-280G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 525-180X |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*1600) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 500〜80 |
|---|---|
| レンズ | 0.088X ダブルテレセントリックレンズ |
| 作動距離 | 120mm |
| 広場 | Ø116mm(94x76) |
| 測定精度 | ±4um |
