| コード＃ | 502-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 503-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| 寸法(幅×奥行き×高さ) | (1195*832*1579) mm |
| 重さ | 650kg |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| 再現性 | 2um |
| コード＃ | 524〜120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| 再現性 | 2um |
| コード＃ | 529-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| コード＃ | 529-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| XY軸の精度 | ≤3.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 529-120J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| XY軸の精度 | ≤3.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 522-280G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 522-180J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
