| コード# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1000*800) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*1600) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 521-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (458*358) mm |
| ガラスの作業台 | (356*248) mm |
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 521~320F |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (408*308) mm |
| ガラスの作業台 | (306*198) mm |
| X/Y軸移動 | (250*150) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 521〜420E |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (270*350) mm |
| ガラスの作業台 | (142*242) mm |
| X/Y軸移動 | (200*100) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 521〜320J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 522〜420G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
