| コード# | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 商品の次元 | 988×563×1157mm |
| コード# | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 商品の次元 | 988×563×1157mm |
| コード# | 511~340 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×358mm |
| ガラスステージサイズ | 148x256mm |
| ステージ移動範囲 | 200x100mm |
| 商品の次元 | 988×563×1157mm |
| コード# | 525-180N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1000*1000) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*1600) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 525~380K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*500) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 522〜120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 522~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
