| コード# | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 商品の次元 | 988×563×1157mm |
| コード# | 511~340 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×358mm |
| ガラスステージサイズ | 148x256mm |
| ステージ移動範囲 | 200x100mm |
| 商品の次元 | 988×563×1157mm |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 510~340 |
|---|---|
| LCDのスクリーン・サイズ | 115mm×85mm |
| LCD画面の解像度 | 640*480 |
| 表示軸線 | 3軸 (X,Y,Z/Q) |
| 線形スケール解像度 | 0.1m0.2um0.5mm,1mm,2mm,5mm |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 521-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (458*358) mm |
| ガラスの作業台 | (356*248) mm |
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード# | 525-180N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1000*1000) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 521~320F |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (408*308) mm |
| ガラスの作業台 | (306*198) mm |
| X/Y軸移動 | (250*150) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
