| コード# | 525-020D |
|---|---|
| グラニット製の作業台 | (310*220) mm |
| ガラスの作業台 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| Z軸 移動 | 100mm |
| コード# | 525〜320H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動量 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 524〜120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| グラニットステージ | (310*220) mm |
| ガラス段階 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| X/Y線形スケール | 解像度: 0.5um |
| コード# | 525〜120H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動量 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 525-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (505*350) mm |
| ガラスの作業台 | (356*248) mm |
| X/Y軸移動量 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 525-020D |
|---|---|
| グラニット製の作業台 | (310*220) mm |
| ガラスの作業台 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y軸移動量 | (150*100) mm |
| Z軸 移動 | 100mm |
| コード# | 523~220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
