| コード＃ | 525-020D |
|---|---|
| グラニット製の作業台 | (310*220) mm |
| ガラスの作業台 | (179.5*129.5) mm |
| x/y軸が移動します | (150*100) mm |
| Z軸旅行 | 100mm |
| コード＃ | 525-020dp |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （310*220）mm |
| ガラスステージ | （179.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （150*100）mm |
| 線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 525〜120H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| x/y軸が移動します | (400×300)mm |
| Z軸旅行 | 200mm |
| コード＃ | 525〜320H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (605*450) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| x/y軸が移動します | (400×300)mm |
| Z軸旅行 | 200mm |
| コード＃ | 525-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | （505*350）mm |
| ガラスの作業台 | （356*248）mm |
| x/y軸が移動します | （300*200）mm |
| Z軸旅行 | 200mm |
| コード＃ | 525-020D |
|---|---|
| グラニット製の作業台 | (310*220) mm |
| ガラスの作業台 | (179.5*129.5) mm |
| x/y軸が移動します | (150*100) mm |
| Z軸旅行 | 100mm |
| コード＃ | 529-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| コード＃ | 525-020P |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （310*220）mm |
| ガラスステージ | （179.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （150*100）mm |
| X/Y線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 521〜420J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 524〜120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| 再現性 | 2um |
