| コード# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*1600) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| Code# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y Axis Travel | (500*500)mm |
| Z Axis Travel | 300mm |
| X/Y/Z Axis Linear Scale | Resolution: 0.1um |
| Guidance Mode | Precision linear guide rail |
| コード# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (800*600) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
