| コード＃ | 500〜200 |
|---|---|
| 視野 | L190*W127*A229mm |
| Z軸移動モード | 自動 |
| 双方向電視レンズ拡大 | 0.069X |
| 被写界深度 | 10mm |
| コード＃ | 523-180Q |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1800*1200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤3.5+L/200 ((um) |
| コード＃ | 525~380K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*500) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 522-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 525-180X |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*1600) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 522-180J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード＃ | 523-280L |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (800*600) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード＃ | 523-180R |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (2600*1600)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤4.0+L/200 ((um) |
