| コード＃ | 511〜420 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 308×408mm |
| ガラスステージサイズ | 198×306mm |
| ステージ移動範囲 | 250×150mm |
| 製品寸法 | 1003×617×1309mm |
| コード＃ | 525-020P |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （310*220）mm |
| ガラスステージ | （179.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （150*100）mm |
| X/Y線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 525-020dp |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | （310*220）mm |
| ガラスステージ | （179.5*129.5）mm |
| x/y軸が移動します | （150*100）mm |
| 線形スケール | 解像度：0.5um |
| コード＃ | 521-120G |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (458*358) mm |
| ガラスの作業台 | （356*248）mm |
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 521~320F |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (408*308) mm |
| ガラスの作業台 | (306*198) mm |
| X/Y軸移動 | (250*150) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 521〜420E |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (270*350) mm |
| ガラスの作業台 | (142*242) mm |
| X/Y軸移動 | （200*100）mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 521〜420J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 521〜320J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード＃ | 522~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 522-180J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
