| コード# | 525-020P |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | (310*220)mm |
| ガラスステージ | (179.5*129.5)mm |
| x/y軸が移動します | (150*100)mm |
| X/Y線形スケール | 解像度:0.5um |
| コード# | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 製品寸法 | 988×563×1157mm |
| コード# | 511~330 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×308mm |
| ガラスステージサイズ | 148x206mm |
| ステージ移動範囲 | 150×100mm |
| 製品寸法 | 988×563×1157mm |
| コード# | 511~340 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 258×358mm |
| ガラスステージサイズ | 148x256mm |
| ステージ移動範囲 | 200x100mm |
| 製品寸法 | 988×563×1157mm |
| コード# | 525-020dp |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | (310*220)mm |
| ガラスステージ | (179.5*129.5)mm |
| x/y軸が移動します | (150*100)mm |
| 線形スケール | 解像度:0.5um |