| 測定範囲 | 115*145*75mm |
|---|---|
| 正確さ | ±1.5μm |
| 容量 | 5kg |
| 繰り返し可能性 | ± 1.5μm |
| 最低単位 | 0.1μm |
| 測定範囲 | 215*145*75mm |
|---|---|
| 正確さ | ±1.5μm |
| 容量 | 5kg |
| 繰り返し可能性 | ± 1.5μm |
| 最低単位 | 0.1μm |
| 測定範囲 | φ100mm |
|---|---|
| 正確さ | ±1.5μm |
| 容量 | 5kg |
| 繰り返し可能性 | ± 1.5μm |
| 最低単位 | 0.1μm |
| コード# | 520-020 |
|---|---|
| 作業台 | (245x180) mm |
| ガラスの作業台 | (130×130) mm |
| X/Y軸移動 | (100*100) mm |
| X/Y軸の解像度 | 解像度: 0.5um |
| コード# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| 次元（WxDxH） | (1337*840*1664) mm |
| 重さ | 600kg |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 503-120J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| 次元（WxDxH） | (1463*940*1591) mm |
| 重さ | 780kg |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| 次元（WxDxH） | (1337*840*1664) mm |
| 重さ | 600kg |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 500〜30 |
|---|---|
| レンズ | 0.3X ダブルテレセントリックレンズ |
| 作動距離 | 110のmm |
| 広場 | Ø 30mm ((28x24) |
| 測定精度 | ±2um |
| コード# | 503-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| 次元（WxDxH） | (1195*832*1579) mm |
| 重さ | 650KG |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 502-320J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| 次元（WxDxH） | (1437*940*1664) ミリ |
| 重さ | 750キロ |
| Z軸 移動 | 200mm |
