ST-5000G 精密スロットコーティング試験機
製品私は紹介:
ST-5000G精密コーティング実験コーティングマシンは,高精度,高信頼性,高安定性の実験コーティングマシンの新しいタイプです.機器の特徴は以下のとおりです.自社で製造され開発された高精度粘着ポンプと高精度スライト・ダイ液体薬剤は硬い基板に均等に覆い,高薄膜厚さの均一性のある広面積の薄いコーティングを準備します.
デバイスパラメータ:
適用可能な基板:
(1) について | 基板の大きさ | 500mm*500mm |
(2) について | 基板の平らさ | <10u |
(3) について | 基板の濡れ性 | <15° |
(4) について | 基板の温度 | 23±2°C |
適用される液体:
(1) について | タイプ | イソプロパノール,DMF,DMSOその他の有機溶媒または他の混合溶媒 |
(2) について | 粘度 | 1~70CPS |
(3) について | 固体含有量 | 7%~50% |
装置のプロセス性能:
(1) について | フィルム形成方法 | スロットコーティング |
(2) について | 粘度 | 300nm~10um (乾燥フィルム) |
(3) について | フィルム形成の均質性 | フィルム内 ≤ 5%,フィルム間 ≤ 5%. |
コーティング・マート:
番号 | プロジェクト | 技術パラメータ | コメント |
1 | 材料 | SUS630 | |
2 | コーティング幅 | 450mm | |
3 | 平らさ/直直さ | ≤3m | |
4 | ランプの荒さ | Ra≤0.025 | |
5 | 割れ穴 | 密封型,密封厚さの均一性 ≤±2um | |
6 | ギャップ調整範囲 | ≤±10um | |
7 | エッジ範囲を除いて | ≤10mm | |
8 | コートヘッドの衝突防止装置 | 唇より20ミリメートルも低いので 唇が衝突するのを防ぎます | |
9 | コーティングヘッドの修正 | 高精度の線形移動センサーによって自動的に修正されます | |
10 | バブルドレイン設計 | ダイ室は,高レベルであり,バズル穴の高いレベルを持っています |
コートポンプ:
番号 | プロジェクト | 技術パラメータ | コメント |
1 | パンプの体材 | SUS316L | |
2 | 密封リング材料 | 腐食耐性シール | |
3 | パンプの容量 | 5ml | |
4 | 駆動制御 | サーボモーター,ボールスクリュー | |
5 | 唾液制御の解像度 | 0.01ul/s | |
6 | 応答時間 | 0.01s | |
7 | 吐き速度 | 0~2000ul/s | |
8 | 最大発射加速 | 2000ul/s2 | |
9 | 機能構成 |
1) 液体供給ポンプは,補給後,自動的に圧力を軽減します. (2) 液体放出遅延機能 (3) 端末の吸い戻し機能 4) 自動補水機能 5) 多段階のコーティング調整 |
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番号 | プロジェクト | 技術パラメータ |
1 | Z軸の数 | 2個 |
2 | Z軸の解像度 | 0. 1m |
3 | Z軸駆動制御 | サーボモーター,磨きグレードのスクリュー,ガイドレール |
4 | Z軸の繰り返し性 | ≤5um |
5 | Z軸の速度範囲 | 0~50mm/s |
6 | Y軸駆動型 | プラットフォーム駆動 |
7 | Y軸駆動制御 | サーボモーター,磨きグレードのスクリュー,ガイドレール |
8 | Y軸の速度範囲 | 0~200mm/s |
9 | Y軸の移動表面の精度 | ±5umよりよい |
10 | Y軸の繰り返し性 | ≤5um |
11 | 機能構成 |
1) コーティングの加速と減速を設定・調整できます. (2) コーティング・ギャップを調節可能 3) 調整可能な端回転のギャップ |
コーティング・プラットフォーム:
番号 | プロジェクト | 技術パラメータ | コメント |
1 | 材料 | 000級の花岩 | |
2 | 基板のサイズに適応する | 500*500mm | |
3 | 表面の平らさ | 平らさ≤±5mm | |
4 | 基板の位置 | プラットフォームの真空吸着 | |
5 | 基板の並べ替え | 手帳 | |
6 | タブレットを拾って置く | 手帳 |
液体供給システム:
番号 | プロジェクト | 技術パラメータ | コメント |
1 | 管材 | PFA | |
2 | 液体供給タンク | 剥がされた材料,容量100ml | |
3 | 液体供給方法 | タンクは圧迫状態です | |
4 | タンクを洗う | ステンレス鋼から作る |
プレコーティングクリーニングユニット:
番号 | プロジェクト | 技術パラメータ | コメント |
1 | プレコーティング方法 | プレコーティングプラットフォーム | |
2 | 唇を磨く | 手帳 | |
3 | タンクを浸して排水します | 設備 が 休み,パイプライン が 清潔 で,廃棄物 が 放出 さ れ た 時 に 用い ます |
番号 |
プロジェクト | 技術パラメータ | コメント |
1 | タッチスクリーン | プレコーティングプラットフォーム | |
2 | ログ記録機能 | 各基板のコーティングプロセスは,コーティングプロセスの各時点におけるコーティングの各軸の速度と位置パラメータを含む | |
3 | 運用許可 |
ログインする操作許可の3種類 デバイスの手動,半自動,自動操作は,すべてインターフェースで操作することができます |
番号 | プロジェクト | 技術パラメータ | コメント |
1 | 書く | 合金,パンチプレート,FFU,シールストリップ | |
2 | 設計する | 透明は,リアルタイムでコーティング状態を観察することができます. FFU 浄化微小正圧は,外部の環境は,外部の環境でクラス1000よりも良いことを保証します. | |
3 | 排気ガス | 外蓋は有機排気口を備えており,インターフェースサイズはDN80です. |
設定する について チェックリスト:
主な構成:
番号 | 名前 | ブランド | ブランドの位置 |
1 | PLC | シメンス | ドイツ |
2 | サーボモーター | パナソニック | 中国 |
3 | 周波数変換機 | INVT | 中国 |
4 | HMI | クンランの音色 | 日本 |
5 | ローヤリング | NSK / FAG | 日本/ドイツ |
6 | ミニチュア断路機 | シュナイダー/CHINT | フランス/中国 |
7 | リレー | シュナイダー | フランス |
8 | エアスイッチ | シュナイダー/CHINT | フランス/中国 |
デバイスのセキュリティ設定:
1 | 緊急スイッチ | クリーンカバー,操作インターフェイス,電気制御ボックスおよび他のポジションは,EMOスイッチを装備し,緊急事態の場合に複数のポイントは,迅速に停止することができます |
2 | セキュリティ・インターロック | 機械の危険源は,故障防止のハードウェア・インターロック装置を使用し,機器の保護蓋を開けると傷害を引き起こす可能性があるユニットの作業を停止します. |
3 | 音声・光声アラーム | 設備は,目立つ位置または顧客が指定した位置に音声・視覚アラーム装置を搭載している. |
4 | クリーンカバー | 設備は外側のカバーで隔離され,作業中にスタッフが侵入することを防止しながら,塵カバーは外部の環境から遠ざけられています. |
5 | 換気と排気 | 揮発性有機ガスのコーティングは,排気接続で設計されている. |
6 | ほか | 水,電気,化学薬品の使用のための機器の設計は,国家安全基準を満たしています |