| コード# | 522-280G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.1um |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 521~320F |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (408*308) mm |
| ガラスの作業台 | (306*198) mm |
| X/Y軸移動 | (250*150) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 521〜420E |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (270*350) mm |
| ガラスの作業台 | (142*242) mm |
| X/Y軸移動 | (200*100) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 521〜420J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 521~320H |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (608*470) mm |
| ガラスの作業台 | (456*348) mm |
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 525~380K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*500) mm |
| Z軸 移動 | 300mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード# | 521〜320J |
|---|---|
| マルマー製の作業台 | (650*580) mm |
| ガラスの作業台 | (540*440) mm |
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| Z軸 移動 | 効率的な移動 200mm |
| コード# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
