| コード# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| 次元（WxDxH） | (1337*840*1664) mm |
| 重さ | 600kg |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 503-120J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| 次元（WxDxH） | (1463*940*1591) mm |
| 重さ | 780kg |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 502-320J |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*400) mm |
| 次元（WxDxH） | (1437*940*1664) ミリ |
| 重さ | 750キロ |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | 500〜30 |
|---|---|
| レンズ | 0.3X ダブルテレセントリックレンズ |
| 作動距離 | 110のmm |
| 広場 | Ø 30mm ((28x24) |
| 測定精度 | ±2um |
| コード# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1200*1000) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| コード# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| 次元（WxDxH） | (1237*740*1664) ミリ |
| 体重 | 380KG |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| 繰り返し可能性 | 2um |
| コード# | オートビッキー ZHV-WH0503 |
|---|---|
| 目標 | 10×、40× |
| データ入力 | オートマティック |
| 塔 | オートマティック |
| 最大。試験片の高さ | 170mm |
| コード# | 823-170-2005 年 |
|---|---|
| 負荷システム | オートマティック |
| モーター化されたXYステージ | ミニステップモーター L:180*W:140mm |
| X-Y ステージ ストローク | 50x50mm |
| 最小ステップ | 0.625um |
