| コード＃ | 522〜420G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | （300*200）mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 524-220H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (400×300)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度：0.5um |
| 再現性 | 2um |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード＃ | 525-180N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1000*1000) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 523-280K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (600*500) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 523-480L |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (800*600) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 523-280L |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (800*600) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 525-180X |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*1600) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 525~380K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (500*500) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 523-180M |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1000*800) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤2.0+L/200 ((um) |
