| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| コード# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| 次元(WxDxH) | (1237*740*1664) ミリ |
| 体重 | 380KG |
| Z軸 移動 | 200mm |
| コード# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度: 0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |