| コード# | 525-020EP |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | (390*220)mm |
| ガラスステージ | (229.5*129.5)mm |
| x/y軸が移動します | (200*100)mm |
| 線形スケール | 解像度:0.5um |
| コード# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200)mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z 3軸線形スケール (mm) | 解像度:0.5um |
| XY軸の精度 | ≤2.5+L/200 ((um) |
| コード# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*200)mm |
| 寸法(幅×奥行き×高さ) | (1237*740*1664) ミリ |
| 重さ | 380kg |
| Z軸 移動 | 200mm |