| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 (um) |
| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 (um) |
| コード# | 512-400 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 455×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 300×150mm |
| 集中する | 120mm |
| 精度 | ≤3+L/200 (um) |
| コード# | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 200x100mm |
| 集中する | 90mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 (um) |
| コード# | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| 作業 ステージ 旅行 | 200x100mm |
| 集中する | 90mm |
| 精度 | ≤3+L/200 (um) |