| コード# | 531-130 |
|---|---|
| メタルステージサイズ | 252×252mm |
| ガラスステージサイズ | 196×96mm |
| 解決 | 0.5um |
| 精度の測定 | ≤5um |
| コード# | 532~190 |
|---|---|
| x/y軸旅行 | 300x200mm |
| スケール解像度 | 0.0001mm |
| 観測画像 | 前面画像 (Erect Image が利用可能) |
| 接眼レンズの管 | 双眼鏡:WF10/20 |
| コード# | 532〜160 |
|---|---|
| x/y軸旅行 | 300x200mm |
| スケール解像度 | 0.0005mm |
| 観測画像 | 表紙の画像 |
| 接眼レンズの管 | 双眼鏡:WF10/20 |
| コード# | 532〜180 |
|---|---|
| x/y軸旅行 | 200x150mm |
| スケール解像度 | 0.0001mm |
| 観測画像 | 前面画像 (Erect Image が利用可能) |
| 接眼レンズの管 | 双眼鏡:WF10/20 |