| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| ワーキングステージ旅行 | 200x100mm |
| 焦点 | 90mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 （um） |
| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード＃ | 523-280K |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (600*500) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
| コード＃ | 523-180M |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1500*1200) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤3.0+L/200 ((um) |
| コード＃ | 528~180H |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (300*400) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度:0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.2+L/200 (m) |
| コード＃ | 525-180N |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (1000*1000) mm |
| Z軸 移動 | 300MM |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| 誘導モード | 精密線形ガイドレール |
| コード＃ | 523-480L |
|---|---|
| X/Y軸移動 | (800*600) mm |
| Z軸 移動 | 200mm |
| X/Y/Z軸線形スケール | 解像度: 0.1mm |
| XY軸の精度 | ≤1.8+L/200 ((um) |
