| コード# | 525-020dp |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | (310*220)mm |
| ガラスステージ | (179.5*129.5)mm |
| x/y軸が移動します | (150*100)mm |
| 線形スケール | 解像度:0.5um |
| コード# | 525-020P |
|---|---|
| 花崗岩の段階 | (310*220)mm |
| ガラスステージ | (179.5*129.5)mm |
| x/y軸が移動します | (150*100)mm |
| X/Y線形スケール | 解像度:0.5um |
| コード# | 512〜350 |
|---|---|
| 作業ステージの大きさ | 355×126mm |
| ワーキングステージ旅行 | 200x100mm |
| 焦点 | 90mm |
| 正確さ | ≤3+L/200 (um) |
| コード# | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |
| コード# | 542-310 |
|---|---|
| ワーキングステージ旅行 | 355x125mm |
| x/y軸旅行 | 200x120mm |
| z軸 | 110mm |
| 測定精度 | ≤3+l/200um |